1、一种VCSEL阵列电极结构及制备方法

　　2、一种高功率VCSEL阵列芯片倒装焊封装结构及制备方法

　　3、具有小脉冲延迟的VCSEL阵列

　　4、用于记录三维图像的SMI传感器的VCSEL装置

　　5、一种带有衍射光学元件VCSEL芯片结构及制备方法

　　6、一种基于衬底散热的VCSEL阵列芯片封装结构

　　7、一种VCSEL激光器

　　8、一种双共振腔VCSEL激光器及其制作方法

　　9、一种带相位补偿层的VCSEL结构及制备方法

　　10、一种基于VCSEL的泵浦光源及制备方法

　　11、一种VCSEL芯片

　　12、VCSEL芯片及其制造方法

　　13、一种具有石墨烯导电膜的VCSEL

　　14、包含具有压缩应力AlGaAsP层的垂直共振腔表面放射激光二极管(VCSEL)

　　15、一种用于VCSEL的多组分量子阱外延结构及其制备工艺

　　16、氧化物间隔HCG VCSEL及其制造方法

　　17、一种光学元件及VCSEL激光器件

　　18、一种激光功率可控的小型化VCSEL激光器

　　19、可分区导通的VCSEL激光光源

　　20、VCSEL激光光源

　　21、大功率VCSEL激光器的驱动控制方法

　　22、一种可调谐VCSEL激光器芯片及其制造方法

　　23、一种新型Vcsel的外延结构及其对应氧化孔径的测试方法

　　24、高功率vcsel芯片及其制备方法

　　25、VCSEL驱动电路及装置

　　26、具有多个电流局限层的垂直共振腔表面放射激光二极管（VCSEL）

　　27、一种衬底型衍射光学元件VCSEL分光结构及制备方法

　　28、倒装vcsel光源和TOF模组

　　29、一种VCSEL激光器及其制作方法

　　30、一种VCSEL芯片氧化孔制备用湿法氧化装置

　　31、一种带有光学透镜的VCSEL激光器件

　　32、VCSEL单元单独可控的激光器

　　33、一种高反射率VCSEL芯片的制备方法

　　34、一种VCSEL芯片及其制作方法

　　35、带有钝化的光学匹配垂直腔面发射激光器（VCSEL）

　　36、点阵生成方法、装置、存储介质、电子设备及VCSEL阵列光源

　　37、包括至少一个VCSEL和扩散透镜的发光器件

　　38、一种VCSEL芯片的低温氧化方法

　　39、一种VCSEL芯片及其制造方法

　　40、VCSEL偏置电路及相关设备

　　41、具有密集外延侧接触部的VCSEL

　　42、一种光学元件及VCSEL器件

　　43、VCSEL芯片及其制造方法

　　44、一种VCSEL芯片及其制造方法

　　45、一种VCSEL芯片

　　46、具有多重限制隔离的VCSEL

　　47、VCSEL光芯片测试衬底掏空调制器装置

　　48、一种出射相干光的VCSEL阵列芯片

　　49、倒装vcsel光源和TOF模组

　　50、一种具有石墨烯导电膜的VCSEL及其制作方法

　　51、一种具有非对称限制层的VCSEL

　　52、一种带有光学透镜的VCSEL激光器件

　　53、一种带有光学透镜的VCSEL激光器件

　　54、一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构及制备方法

　　55、包括电流扩散层的氧化型VCSEL及其制造方法

　　56、一种VCSEL封装结构

　　57、倒装芯片底发射的垂直腔面发射激光器封装及其制作方法

　　58、具备倒装结构的VCSEL、VCSEL阵列及其制备方法

　　59、一种VCSEL芯片

　　60、一种基于VCSEL芯片封装的激光模组管

　　61、具有降低的RIN的带有椭圆形孔口的VCSEL

　　62、一种具有透明顶衬与背面正负电极的VCSEL器件及其制备方法

　　63、基于VCSEL的生物特征识别设备

　　64、表面贴装的兼容的VCSEL阵列

　　65、一种高增益有源区及一种VCSEL

　　66、一种新型DBR结构的VCSEL

　　67、一种具有背面正负电极的VCSEL器件及其制备方法

　　68、具有高介电常数限制孔的VCSEL器件

　　293、具有一个VCSEL光源阵列的用于印版的制图像装置

　　294、微机电调谐共焦垂直腔面发射激光器与法布里－珀罗滤光器

　　295、带有VCSEL光源的红外数据交联数据链路

　　296、P在下的低阻的上发射脊垂直腔面发射激光器和制造方法

　　297、具有垂直腔表面发射激光器或阵列的小型光盘只读存储器头