加速度传感器生产专利工艺技术

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  1 CN****5.9 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构

  2 CN**46782.X 环振式数字加速度传感器

  3 CN**51296.5 单片集成的直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法

  4 CN**50516.0 加速度传感器以及计步器

  5 CN**36742.6 一种高固有频率的量程可达200万m/slt;supgt;2lt;/supgt;的微机械加速度传感器

  6 CN**37897.5 一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器

  7 CN03104781.5 MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法

  8 CN03103820.4 加速度传感器

  9 CN**04576.3 加速度峰值及倾斜方向感知传感器

  10 CN03106657.7 加速度传感器

  11 CN03117656.9 全光型硅微谐振式二维加速度传感器

  12 CN03137809.9 加速度传感器

  13 CN03108214.9 加速度传感器

  14 CN01814442.X 加速度传感器及其制造方法

  15 CN02802646.2 落下冲击测量系统及用于该系统的加速度传感器用元件

  16 CN**43502.2 加速度传感器

  17 CN95116390.6 半导体加速度传感器

  18 CN96122837.7 加速度传感器,其制造方法和用该传感器的冲击检测装置

  19 CN97102672.6 半导体加速度传感器

  20 CN96102910.2 加速度型高灵敏度机电传感器系列

  21 CN97109504.3 半导体加速度传感器

  22 CN90103465.7 一种硅梁压阻加速度传感器及其制造方法

  23 CN92101089.3 气体线加速度传感器

  24 CN91111605.2 一种加速度传感器

  25 CN93118450.9 一种坡度角和加速度传感器

  26 CN95107246.3 加速度传感器

  27 CN95116343.4 加速度传感器

  28 CN97102821.4 半导体加速度传感器

  29 CN97113221.6 半导体加速度传感器

  30 CN97117619.1 加速度传感器

  31 CN97116107.0 半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法

  32 CN97114505.9 半导体加速度传感器的制造方法

  33 CN96197214.9 单体加速度传感器

  34 CN97121626.6 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法

  35 CN98119591.1 加速度传感器与三轴加速度传感器

  36 CN99106299.X 压电型加速度传感器及其制造方法和加速度检测方法

  37 CN00112880.9 高速自适应加速度及坡度测量传感器

  38 CN99800679.3 加速度传感器及使用该加速度传感器的加速度装置

  39 CN00126172.X 集成硅微电阻式加速度传感器及其制造加工方法

  40 CN99811470.7 具有谐振结构的传感器,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法

  41 CN01120663.2 加速度传感器和加速度检测装置及**装置

  42 CN011**6.0 曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法

  43 CN**16842.3 微型硅桥式热对流加速度传感器

  44 CN**11212.6 深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器

  45 CN**22567.2 十二维力/加速度机器人腕传感器

  46 CN200710152427.3 加速度传感器

  47 CN200710191247.6 单芯片三轴加速度传感器

  48 CN200680**814.7 制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器

  49 CN200710151178.6 光纤光栅三维加速度/振动传感器

  50 CN200810004601.4 双加速度传感器系统

  51 CN200710306261.6 加速度传感器

  52 CN200680028324.X 加速度传感器校正设备及加速度传感器的输出值校正方法

  53 CN200710063990.3 二维磁性流体加速度传感器

  54 CN200710063991.8 磁性流体加速度传感器

  55 CN200710063992.2 准二维磁性流体加速度传感器

  56 CN200580051337.4 加速度传感器装置及传感器装置

  57 CN200410061836.9 半导体加速度传感器及其制备方法

  58 CN200410061861.7 加速度传感器

  59 CN200410061862.1 加速度传感器

  60 CN200410052606.6 平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法

  61 CN200410043143.7 加速度传感器

  62 CN200410079742.4 加速度传感器

  63 CN200410083429.8 加速度传感器单元

  64 CN03121845.8 加速度传感器及其制造方法

  65 CN200410063839.6 加速度传感器和加速度传感器的制造方法

  66 CN03804478.1 加速度传感器

  67 CN03806400.6 半导体器件的制造方法以及加速度传感器

  68 CN200510008053.9 湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器

  69 CN200510042494.0 一种加速度传感器

  70 CN03819363.9 加速度传感器

  71 CN03819626.3 静电电容型加速度传感器及其制造方法

  72 CN2004**3659.7 一种用数字信号为接口的无线加速度传感器

  73 CN200510107569.9 加速度传感器

  74 CN200480018273.3 提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴的微加工多传感器

  75 CN200480018291.1 提供一个加速度检测轴和两个角速度检测轴的微加工多传感器

  76 CN200510007630.2 一种基于纳米材料的微型膜片式加速度传感器

  77 CN200510007632.1 一种微型膜片式加速度传感器的本体及制造方法

  78 CN200510111362.9 三维集成微机械加速度传感器及制作方法

  79 CN200510026452.8 加速度传感器

  80 CN200510067030.5 加速度传感器

  81 CN200510006417.X 半导体加速度传感器件及其生产方法

  82 CN200410071650.1 一种用加速度传感器判断列车是否丢车的方法及装置

  83 CN200510088494.4 加速度传感器

  84 CN200510088617.4 使用加速度传感器测量体育运动量的设备和方法

  85 CN200510096065.1 基于菲涅尔衍射微透镜的光学加速度传感器

  86 CN2005**2884.3 微机械角加速度传感器

  87 CN200480003916.7 加速度传感器以及倾斜检测方法

  88 CN200480003948.7 电容性加速度传感器

  89 CN200480003950.4 电容性加速度传感器

  90 CN200510098192.5 加速度传感器

  91 CN200510099199.9 加速度传感器

  92 CN200410040875.0 一种阵列式微压阻式加速度传感器

  93 CN200510068900.0 加速度传感器

  94 CN200510120160.0 基于加速度计的倾斜传感器和使用该倾斜传感器的方法

  95 CN20051011**4.5 基于微加速度传感器的高速动态车辆超载检测方法

  96 CN200510084468.4 加速度传感器

  97 CN200480009738.9 加速度传感器轴信息校正装置、及其校正方法

  98 CN200510113545.4 加速度传感器

  99 CN200510131590.2 半导体加速度传感器

  100 CN200510131515.6 加速度传感器

  101 CN200510030947.8 悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器

  102 CN200510102738.X 加速度传感器

  103 CN200510107009.3 加速度传感器及其制造方法

  104 CN200510107131.0 加速度传感器

  105 CN200510128528.8 加速度传感器的结构及其制造方法

  106 CN200610009**.8 框架结构差分电容式加速度传感器

  107 CN20051013**1.X 加速度传感器芯片

  108 CN2006**2638.2 **电容式加速度传感器

  109 CN200510009842.4 应用于硅微加速度传感器的键合技术

  110 CN200610077026.1 加速度传感器

  111 CN200510024665.7 手机中加速度传感器的实现方法及实现该方法的手机

  112 CN2006**1906.9 一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器

  113 CN200610008644.0 阳极接合装置、阳极接合方法和加速度传感器的制造方法

  114 CN200610081463.0 新型振动加速度传感器

  115 CN200510132830.0 用双轴地磁传感器和加速度传感器补偿倾斜的方法及装置

  116 CN200610054356.9 一种差动式压电加速度传感器

  117 CN200510043354.5 一种电容式MEMS加速度传感器

  118 CN200510**852.X 采用加速度传感器来提高便携式弯沉仪(H-FWD)测试精度的方法

  119 CN200610068046.2 半导体加速度传感器装置及其制造方法

  120 CN200480038743.2 半导体型三轴加速度传感器

  121 CN200610054418.6 差动式压电二维加速度传感器

  122 CN200610100053.6 加速度传感器及使用该加速度传感器的磁盘装置

  123 CN200610**51.X 电子设备和修正加速度传感器的偏移值的方法

  124 CN200510043987.6 MEMS加速度地震传感器

  125 CN200610095012.2 一种压电式三维加速度传感器

  126 CN200610095028.3 一种六轴加速度传感器的敏感元件的布局结构

  127 CN200610110069.5 耐冲击加速度传感器

  128 CN200480039089.7 车身加速度传感器的故障**设备和防抱**制动系统

  129 CN200610029423.1 基于(111)硅的微机械加速度传感器及制造方法

  130 CN200610004074.8 一种加速度传感器

  131 CN200580006749.6 振动型压电加速度传感器

  132 CN200610126950.4 加速度传感器的偏移检测和导航系统

  133 CN200610109083.3 加速度传感器、安装其的电子装置、以及加速度测量方法

  134 CN200580009428.1 加速度传感器

  135 CN200510030238.X 数码相机中利用加速度传感器的拍照防抖动装置及其方法

  136 CN200680000185.X 半导体加速度传感器

  137 CN200610118484.5 微机械电容式加速度传感器及制作方法

  138 CN200610145373.3 用于加速度传感器的弹簧构件、加速度传感器以及磁盘驱动器装置

  139 CN200610145374.8 加速度传感器以及磁盘驱动器装置

  1..............

  535 CN201310392119.3 基于SOI片衬底硅阳极键合的电容式温度、湿度、气压和加速度传感器集成制造方法

  536 CN201310272440.8 基于加速度传感器和倾角传感器复合应用的智能**探测系统

  537 CN201210174147.3 带有**功能的三轴加速度传感器节点模块

  538 CN201310391921.0 一种加速度传感器芯片生产校验补偿方法

  539 CN201310359765.X 一种结合加速度传感器调节显示屏背光的方法及移动终端

  540 CN201310405446.8 一种与加速度传感器的放置方式和位置无关的运动识别方法

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